高流量气体监测与防爆方案

在半导体制造、化学分析仪器及工业气体系统中，关键工艺气体的流量状态直接关系到工艺安全和设备保护。一旦吹扫气体中断或工艺气体流量异常，可能导致腔体污染、分析结果失准甚至安全事故。卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司（CAROCOSMO）引入的美国Autoflow FS5100系列高流量气体可调流量开关，专为精确检测关键过程中气体流量的增加或减少而设计，为高流量气体管路提供可靠的流量联锁保护方案。

高流量检测范围与现场可调设计

FS5100系列提供从1 slpm至700 slpm的宽可调流量范围，覆盖了从微量吹扫到大流量工艺气体的检测需求。根据过程连接和流量范围的不同，该系列分为两个基本型号：

• FS5104：1/4" NPT接口，流量范围可选1-65 slpm（-5规格）或1-120 slpm（-6规格）

• FS5108：1/2" NPT接口，流量范围可选1-325 slpm（-8规格）或1-700 slpm（-9规格）

用户可通过1/8"或3/16"内六角扳手现场调节设定点，调节螺钉位于壳体底部的凹槽内。逆时针旋转增加设定点，顺时针旋转减小设定点，无需返厂即可根据工艺变化重新设定阈值。

钕磁铁触发与Autoseal封装工艺

FS5100的电气开关由高能钕磁铁触发。钕磁铁是现有强的磁性合金之一，被封装于316不锈钢外壳中。Autoflow采用的Autoseal工艺，使永磁体与工艺介质之间形成连续、不可穿透的316不锈钢屏障，对大多数化学物质具有优异的抗腐蚀能力，确保开关在腐蚀性气体环境中长期稳定工作。

可选防爆盖与安全认证

FS5100系列提供可选防爆帽配置，适用于易燃易爆或自燃性气体场景。防爆盖设计满足危险区域使用的安全要求，在断电或确认区域安全之前，严禁断开设备连接。该系列符合CE标准，适用于氧气系统、化学分析仪、有毒或危险气体、易燃或自燃气体以及吹扫流量故障监测等关键应用。

技术规格与材料选项

FS5100的接液部件采用316不锈钢，弹簧材质为Inconel X750。密封材料可选Viton、Buna-N、EPR或Kalrez，适配不同化学兼容性要求。最大工作压力为1000 psig（69 bar），工作温度范围为-40°C至+105°C。响应时间最大10毫秒，设定点精度±1%，复位点小于触发设定点的12%，内置40微米过滤器防止颗粒堵塞。电气开关为SPDT单刀双掷，最大耐压100 VDC/120 VAC，最大切换电流0.25A，接触电阻最大0.20欧姆。

典型应用场景

• 吹扫流量故障监测：在半导体腔体吹扫环节监测气体流量，异常时触发联锁

• 有毒或危险气体：在特气输送管路中检测流量是否正常

• 易燃或自燃气体：配合防爆帽用于危险气体系统

• 化学分析仪：确保载气或反应气体流量稳定

• 氧气系统：监测氧气流量，防止流量异常导致的安全风险

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