卡洛斯莫推出Autoflow FS5100高流量气体开关，1-700slpm可调带防爆盖

我司卡洛斯莫近期推出美国Autoflow Products（现已并入Precision Fluid Controls）FS5100系列高流量可调气体流量开关。该产品专为关键工艺中气体流量增减的精确检测而设计，可调流量范围覆盖1至700slpm，配备可选的防爆盖，适用于半导体吹扫气监测、化学分析仪、有毒有害气体及氧气系统等场景。

FS5100高流量气体开关

FS5100系列采用高能量钕磁铁触发电气开关，磁铁通过Autoseal工艺封装在316不锈钢外壳中，形成连续不可渗透的屏障，对大多数化学物质具有抗腐蚀性。产品提供FS5104（1/4" NPT）和FS5108（1/2" NPT）两种过程连接规格，全316不锈钢结构，可选哈氏合金、蒙乃尔或钛合金润湿件，弹簧采用Inconel X750材质，确保在腐蚀性气体环境中的长期稳定性。

核心特性与技术优势

• 宽可调流量范围：FS5100系列提供四种可调流量档位，FS5104型可选1-65slpm或1-120slpm，FS5108型可选1-325slpm或1-700slpm，覆盖从低流量吹扫监测到高流量工艺气体检测的广泛需求。

• 可选防爆盖满足危险区域应用：产品可选配防爆盖，通过CSA认证，适用于危险场所，可在易燃易爆特气场景中安全使用。

• 现场可调高分辨率：用户可通过调节机构现场设定开关点，顺时针旋转降低设定值，逆时针旋转增加设定值，调节线性度高，设定点精度达±1%。

• 快速响应与高可靠性：响应时间最大10毫秒，内部集成40微米过滤器，有效防止颗粒污染导致的误动作。工作压力最高1000psig（69bar），工作温度-40°C至+105°C，抗冲击与抗振动能力强。

• 任意方向安装：传感器对安装姿态不敏感，可在任意方向操作，紧凑结构适合高密度系统封装。

典型应用场景

• 半导体制造：在CVD、刻蚀、清洗设备中监测腔体吹扫气体流量是否正常，流量异常时触发设备联锁保护。

• 化学分析仪：在气相色谱、液相色谱等分析仪器的样品气路中确认样品流量，保障分析结果的准确性。

• 有毒或危险气体监测：在涉及有毒、易燃或自燃性气体的工艺管路中，凭借防爆选项实现合规的流量监测与安全联锁。

• 氧气系统：在氧气生产、输送及使用环节监测氧气流量，确保系统安全运行。

选型与配置建议

选型时需根据流量范围选择合适档位（FS5104型适合1-120slpm，FS5108型适合1-700slpm），并根据气体介质确定是否需要腐蚀性兼容的润湿件材质（哈氏合金、蒙乃尔或钛）。危险区域应用需选配防爆盖。密封材料可选Viton、Buna-N、EPR或Kalrez，根据介质兼容性确定。安装时可任意方向操作，建议在流量开关上游安装过滤装置以延长使用寿命。

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