Autoflow FS5100可调气体流量开关，1-700slpm宽量程断流联锁

我司卡洛斯莫近期推出美国Autoflow FS5100系列可调式气体流量开关。该产品采用钕磁触发结构与316不锈钢本体，流量设定点可在1至700 slpm范围内现场调节，最大承压1000 psig（69 bar），内置40微米过滤器，响应时间不超过10毫秒，专为半导体供气、化工气体管路及分析仪器等场景的流量有无监测与断流保护而设计。

产品概述：FS5100可调气体流量开关

FS5100属于Autoflow高流量气体型可调流量开关，是品牌面向精密气路与危险介质OEM成套设备的核心产品之一。Autoflow Products成立于1982年，总部位于美国加利福尼亚州，2020年与Precision Fluid Controls（PFC）合并，长期专注于化学分析仪、气液相色谱仪、化学注入系统、关键气体吹扫及半导体处理等领域的流量监测。FS5100的设计逻辑是“流量联锁"而非连续计量——它只输出开关量信号，用于判断管路中是否有足够流量的气体通过，在流量丢失时触发报警或停机保护。

流量范围与规格配置

FS5100系列按接口尺寸分为FS5104（1/4" NPT）和FS5108（1/2" NPT）两个子型号，可调流量范围分别为1至65 slpm、1至120 slpm（FS5104）以及1至325 slpm、1至700 slpm（FS5108）。开关元件为SPDT单刀双掷继电器触点，触点容量3W、100VDC/120VAC、0.25A，可直接接入PLC或安全联锁回路。工作温度范围-40°C至+105°C，任意方向均可安装，紧凑结构适合高密度系统封装。

现场可调与防爆选项

设定点通过1/8英寸内六角扳手在侧面凹陷调节孔中调整，逆时针旋转增大设定值，顺时针减小。设定精度±1%，复位点约为动作点的12%以下，响应时间≤10毫秒。产品可选配防爆外盖，满足Class I, Division 1危险区域使用要求，适用于易燃易爆或自燃性气体的流量监测场景。接液材质标配316不锈钢，可选哈氏合金、蒙乃尔或钛合金，密封件可选Viton、Buna-N、EPR或Kalrez，适配腐蚀性气体介质。

典型应用场景

• 半导体供气系统：监测惰性气体和特种工艺气体的吹扫回路，断流时触发联锁保护晶圆工艺腔。

• 分析仪器：气相色谱、液相色谱的载气与样品气路流量验证，防止色谱柱因断流损坏。

• 化工与石化：有毒气体、自燃气体及氧气管路的吹扫流量监控，危险区域可选防爆型号。

• 实验室与OEM设备：气体保护系统、惰性化保护回路的集成配套，结构紧凑适合仪器内部安装。

选型与配置建议

选型时需确认流量范围（根据管路尺寸和实际流量选择FS5104或FS5108的对应档位）、过程连接规格（1/4"或1/2" NPT）及是否需要防爆认证。对于腐蚀性气体，建议选配哈氏合金或蒙乃尔润湿件。安装时注意在开关上游配置适当过滤（产品内置40微米过滤器，但严重污染管路仍建议前置过滤），并确保管路流向与开关标识一致。设定点调整后建议进行实际流量验证，确认动作和复位正常。

如需获取更详细的工况选型建议，欢迎联系卡洛斯莫，专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议，并协助完成从产品安装到后期维护的全周期服务。

卡洛斯莫同时经销WIKA威卡、SICK西克、Pepperl+Fuchs倍加福、Turck图尔克、Endress+Hauser恩德斯豪斯E+H、Siemens西门子、HBM、HYDAC德国贺德克、KROHNE科隆、KEWILL科威勒、VSE威仕、ifm易福门、KEM科姆、DI-SORIC（德国）、Kistler奇石乐（瑞士）、HELICAL、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、Staubli史陶比尔等国际品牌产品。如需购买上述品牌的相关产品，欢迎随时联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购配套服务。