产品简介

原厂美国现货INFICON 英福康质谱仪
是面向半导体制造、工业涂层与真空过程、科研及环境监测推出的精密气体分析产品线，基于四极杆质谱技术工作，能够对痕量气体进行实时检测。该系列产品通过精确的气体成分分析，帮助用户提升质量控制水平、优化过程效率并最大限度减少设备停机时间，广泛应用于半导体工艺监控、真空镀膜、泄漏检测、残余气体分析及环境监测等领域。

原厂美国现货INFICON 英福康质谱仪

原厂美国现货INFICON 英福康质谱仪的核心是四极杆质量分析器。气体分子进入离子源后被电子轰击电离，形成带正电的离子。离子在电场加速后进入四极杆，四极杆由四根平行金属棒组成，施加直流和交流电压的组合。在特定电压条件下，只有特定质荷比（m/z）的离子能够稳定通过四极杆到达检测器，其他离子则因轨迹不稳定被过滤掉。通过扫描电压，质谱仪可依次检测不同质荷比的离子，从而获得气体的成分和浓度信息。INFICON质谱仪配备高灵敏度检测器和快速扫描能力，可在毫秒级时间内完成多组分气体的定量分析。

核心产品系列

INFICON质谱仪按应用场景分为多个系列。

HALO 100 是面向半导体制造过程推出的高性能质谱仪，专为CVD、PVD、刻蚀和离子注入等工艺的实时气体监控而设计。其模块化架构和开放式通信接口便于集成到现有设备控制系统中，能够快速检测痕量污染物和工艺漂移。

Transpector 系列 是INFICON的经典质谱仪产品线，包括Transpector 2、Transpector 3和Transpector XPR3等型号。Transpector 2提供高质量分辨率和宽动态范围，适用于残余气体分析和过程监控。Transpector 3在灵敏度和稳定性方面进一步提升，适用于苛刻的半导体工艺环境。Transpector XPR3具有扩展压力范围，可在更高压力下工作，适用于工业涂层和真空过程。

HIDEN 系列 是INFICON旗下Hiden Analytical品牌的高质谱仪产品线，包括HPR-20、HPR-30、HPR-40等型号，覆盖从常压到超高真空的广泛压力范围，广泛应用于催化剂研究、等离子体诊断、环境监测和生物质分析等科研领域。

QMS 系列 是紧凑型残余气体分析仪，适用于真空系统诊断和泄漏检测，提供经济高效的气体分析方案。

产品分类与应用场景

INFICON质谱仪按应用领域分为多个方向。半导体制造领域，HALO 100和Transpector系列用于CVD、PVD、刻蚀、离子注入和ALD等工艺的实时气体监控，检测痕量污染物和工艺漂移，提高良率并减少停机时间。工业涂层和真空过程领域，质谱仪用于磁控溅射、蒸发镀膜和离子镀等工艺的气体纯度监控，确保涂层质量和工艺可重复性。科研领域，Hiden系列用于催化剂表征、等离子体诊断、热分析逸出气体分析和表面科学等研究。环境监测领域，质谱仪用于大气污染物检测、温室气体分析和工业排放监控。泄漏检测领域，质谱仪作为氦气检漏仪的核心传感器，用于高灵敏度泄漏检测。

卡洛斯莫同时经销WIKA威卡、SICK西克、Pepperl+Fuchs倍加福、Turck图尔克、Endress+Hauser恩德斯豪斯E+H、Siemens西门子、HBM、HYDAC德国贺德克、KROHNE科隆、KEWILL科威勒、VSE威仕、ifm易福门、KEM科姆、DI-SORIC（德国）、Kistler奇石乐（瑞士）、HELICAL、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、Staubli史陶比尔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的相关产品，欢迎随时联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购配套服务。

环境适应性与防护能力

INFICON质谱仪具备出色的环境适应能力。四极杆质量分析器采用坚固的金属结构，配备高稳定性射频电源，确保在长时间运行中的质量轴稳定性。离子源采用耐腐蚀材料，可承受多种工艺气体的侵蚀。部分型号配备差分泵浦系统，可在较高压力下工作，适用于工业涂层和真空过程。半导体专用型号采用洁净室兼容设计，满足半导体工厂的洁净度和EMC要求。Hiden系列质谱仪可选配加热毛细管进样系统，防止样品在传输过程中冷凝。

安装与使用注意事项

安装时需确保质谱仪的真空接口与系统匹配，法兰规格通常为DN40CF或DN63CF。质谱仪应安装在振动较小、温度稳定的位置，避免影响质量分辨率和长期稳定性。对于痕量气体分析，建议使用差分泵浦系统以降低背景噪声。定期校准质量轴和灵敏度，确保测量准确性。离子源和检测器为消耗品，污染后需清洗或更换。系统维护前应确认真空已泄放至常压，避免在带压状态下拆卸质谱仪。

采购与技术支持

选型时需根据应用场景、质量范围、检测限、压力范围及是否需要差分泵浦和加热进样系统选择合适的型号配置。如需获取更详细的技术资料、选型建议或产品报价，欢迎联系卡洛斯莫（对接人：陈工 ¹ ⁸ ⁸ ² ³ ⁴ ⁴ ⁵ ⁵ ⁵ ⁸），专业技术团队将根据您的具体应用需求提供精准的选型建议，并协助完成从产品选型到系统集成的全周期服务。

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