产品简介

面板厂洁净流体回路Parker派克超高纯隔膜阀
955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性，抗漏性，及洁净度；适用于超高压半导体行业的应用。

面板厂洁净流体回路Parker派克超高纯隔膜阀

派克955系列1-1/4英寸不锈钢阀体隔膜阀能够提供出色的抗漏能力，长久的使用寿命以及低杂质生成。这些优点使它成为高纯半导体应用的理想选择。

955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接，这种设计能够大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染，而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力，从而提供稳定的免维护的使用寿命。955系列与流体接触的部分由特殊的金属构成具有防腐蚀性及抗漏能力。阀体内部为Vericlean™ 316L不锈钢电抛光材质。Vericlean™ 是派克出色的超高纯级不锈钢材质。膜片是高强度的钴基合金。955系列阀座同时提供PCTFE（聚三氟氯乙烯），PEEK®（聚醚醚酮）和Vespel®（聚酰亚胺树脂）材质，以便可以兼容广范围的过程流体。这些材质组成了955系列严格的设计特征，为955系列提供了抗腐蚀性，在入口压力250 psig时达到更大的使用寿命。

955系列的气动阀被设定成能够用限位开关或接近开关来提供开-关的位置指示。这个设定也应用在多阀体构造中，包括955Y（Y阀）和SM955（表面组装）。

955系列阀的内部（阀座）密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试，以获得其在高要求的超高纯应用中有出色稳定的表现。
面板厂洁净流体回路Parker派克超高纯隔膜阀市场需求：
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业

特点/优势：
• 5微英寸（Ra）电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命（包含腐蚀性条件下）
• 内部无弹簧和无螺纹设计，更大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到250 psig适用
• 内部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig

应用：
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱

选型时需根据工作压力（低压/高压）、流量系数（Cv）、端接类型、执行方式（手动/气动）及介质兼容性选择合适的系列和型号。如需获取更详细的技术资料、选型建议或产品报价，欢迎联系卡洛斯莫（对接人：陈工 ¹ ⁸ ⁸ ² ³ ⁴ ⁴ ⁵ ⁵ ⁵ ⁸），专业技术团队将根据您的具体应用需求提供精准的选型建议，并协助完成从产品选型到系统集成的全周期服务。

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