产品简介

光学加工 HEIDENHAIN 海德汉直线光栅尺
敞开式直线光栅尺含栅尺或尺带和读数头。光电扫描是非接触式测量，工作中无磨损，可检测线宽仅数微米的栅线，并输出超小信号周期的信号。

光学加工 HEIDENHAIN 海德汉直线光栅尺

敞开式光栅尺由光栅尺（或尺带）和读数头组成。按扫描原理分为成像扫描与干涉扫描两类。成像扫描利用光栅与扫描掩膜的相对运动调制光强，产生正弦电信号；干涉扫描则利用精细光栅的衍射和干涉效应，实现更小的信号周期和更高的分辨率。海德汉敞开式光栅尺的信号处理由专用 ASIC 芯片完成，可对信号进行电子细分和补偿，确保在整个生命周期内维持高精度。

光学加工 HEIDENHAIN 海德汉直线光栅尺核心产品系列

敞开式产品线按信号类型分为绝对式与增量式两大阵营，覆盖从纳米级到微米级的不同精度层级。

绝对式 LIC 系列 无需回零即可获取绝对位置。LIC 4100 系列支持高精度和长测量长度，光栅基体可选钢尺带、玻璃陶瓷或玻璃，测量长度可达 28 m，测量步距最小至 1 nm，精度等级可达 ±5 μm，接口覆盖 EnDat 2.2、EnDat 3、Fanuc、Mitsubishi、Panasonic 等。LIC 4100 FS 版本具备功能安全特性（SIL2），LIC 4100 V 版本适用于高真空环境。LIC 2100 系列定位于高移动速度的线性轴，测量长度达 10 m，移动速度最高 600 m/min，扫描范围大因而抗污染能力较强，适合对动态性能要求高但对精度要求略低于 4100 系列的场合。LIC 3000 系列结合了 10 nm 测量步距与高达 600 m/min 的移动速度，扫描区域宽，对局部污染不敏感，适用于高动态且需要超精密测量的长行程轴。

增量式 LIP 系列 追求精度和极小测量步距。LIP 200 系列采用干涉扫描，测量步距低至 31.25 pm，移动速度可达 180 m/min，测量长度至 3040 mm，精度优于 ±1 μm，适用于半导体制造设备、齿轮测量设备和高精密加工机床。LIP 6000 系列适合安装空间有限的应用，并可选配限位开关和回零轨。

增量式 LIF 系列 以安装简便见长。LIF 400 采用 PRECIMET 背胶固定，安装快速，精度高且重复性好，抗污染能力较强，适用于半导体后端生产设备和计量仪器。LIF 481 V 和 LIP 481 V 专用于高真空环境，LIP 481 U 则适用于超高真空。

增量式 LIDA 系列 面向高速运动和大测量长度。LIDA 200 系列测量长度可达 10 m，采用钢带光栅，运动速度快，安装公差大，读数头集成三色 LED 信号质量指示灯，可实时评估信号状态。LIDA 400 系列同样适合高速应用，最高速度可达 8 m/s 或 10 m/s，对光栅尺污染和安装面不平的耐受能力较强。

其他系列 包括二维坐标编码器 PP 281，用于平面内的精密位置测量；以及 RSF 旗下的模块化产品（如 MC 15、MS 15），提供更灵活的集成选项。

环境适应性与防护能力

敞开式光栅尺本身不具备封闭式外壳的物理防护，其可靠性依赖于洁净的使用环境和安装质量。为此，海德汉通过多项设计提升环境适应性：LIDA 200 等系列的大安装公差降低了对机械安装精度的要求；宽扫描区域（如 LIC 3000）使局部污染对信号质量的影响极小；读数头集成的多色 LED 可实时指示信号质量，便于快速判断污染程度或安装状态。真空专用型号（LIP/LIF 481 V/U）在材料和设计上满足高真空或超高真空的释气要求。光栅基体的热膨胀系数可选，用户可根据应用温度特性匹配机床或测量机的材料。

安装与使用注意事项

敞开式光栅尺对污染敏感，安装和运行环境需保持洁净，避免灰尘、油雾和切屑直接落在光栅或读数头光学窗口上。安装时需遵循各系列规定的安装公差，虽然海德汉的设计允许较宽的公差范围，但超出限制仍会影响信号质量。读数头的 LED 信号指示灯是现场调试和日常巡检的重要工具，信号质量下降时应首先检查光栅清洁度和安装状态。对于真空应用，需选用对应的真空专用型号并遵循真空兼容的安装规范。系统维护前应确认设备已断电并处于安全状态，清洁光栅时需使用规定的方法和材料，避免划伤栅线。

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